设备名称：场发射扫描电子显微镜SEM

设备型号：Nova NanoSEM450

制造商：FEI公司

负责人：

联系方式：

放置地点：新科研楼134房间

技术参数

1.分辨率

高真空模式1.0nm @ 15kV

1.8nm @ 1kV

0.8nm @ 30kV(STEM探测器)

低真空模式1.5nm @ 10kV(Helix探测器)

1.8nm @ 3kV(Helix探测器)

2.加速电压200V - 30kV,连续可调

3.电子束流范围0.3pA - 100nA,连续可调

4.样品台移动范围

Nova NanoSEM 230: X=Y=50mm

Nova NanoSEM 430: X=Y=100mm

Nova NanoSEM 630: X=Y=150mm

主要特点

1.超高分辨率Schottky场发射电子枪

2.全球wei一的超高分辨率低真空场发射扫描电镜.具有高真空和低真空(<200Pa)两种真空模式.

3.对容易污染、容易电荷积累的纳米材料和纳米器件进行观察和分析

4.完全无油真空系统

5.可选配电子束曝光、电子束诱导沉积等纳米设计/加工功能

6. FEI公司基于Windows XP的-xT用户界面