设备名称：原子力显微镜

设备型号：MFP-3D Origin+

制造商：美国MANUFACTURERS

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放置地点：新科研楼110房间

主要技术指标

1.1扫描器：采用高端的XYZ三轴分离的平板扫描器，XY闭环扫描范围：100μm*100μm，在80μm*80μm 范围内的表面起伏小于1nm,Z向闭环扫描范围：15μm

1.2分辨能力：形貌分辨能力 XY：0.1nm, Z： 0.02nm；

1.3可测样品最大尺寸：100mm*100mm*20mm（长*宽*高）；

1.4导电原子力显微镜模块：可测电流范围- 10mA到10mA，分辨率0.3pA.

1.5扫描热显微镜：最高工作温度150℃

1.6光学系统：CCD达到500万像素，采用 10倍光学物镜，同轴光路设计

 主要特点

力曲线模式

智能成像模式磁力显微镜

静电力显微镜

压电力显微镜模式

扫描开尔文探针显微镜模式

导电原子力显微镜模式

扫描热显微镜模式

高温环境成像模式

快速扫描成像模式

主要用途

1）测定纳米级材料的微观形貌及尺寸，包括长度，宽度，角度，台阶高度，粗糙度等；
2）测定材料的力学性能，包含刚度，粘附力，弹性模量等；
3）磁学性能分析：包括磁畴分布与反转等；
4）电学性能分析：包括微区电流，表面电势等；
5）压电性能分析：用于压电材料，铁电材料的压电性能分析；
6）热学性能分析：用于微区热分布，热导率检测