设备名称：X射线光电子能谱仪 XPS

设备型号：ESCALAB 250Xi

制造商：赛默飞世尔

负责人：

联系方式：

放置地点：新科研楼132房间

主要技术指标

› 分析室极限真空5*10e-10mbar

› 能量扫描范围0~5000eV

› 能量分辨率0.45eV

› 独立的分析室和进样室

常用附件

› UPS不间断电源、循环冷水机、电脑

主要功能及特色

›电子材料与元器件的表面分析，包括XPS\UPS\ISS\REELS\深度剖析等；

›提供各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、化学键方面的信息。